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氧化鋁陶瓷搬運臂在半導體行業的應用

文章出處:http://www.gzslyxj.com/taocigongyi_/679.html人氣:24時間:2021-12-25

  我們生活在科技日益發達的年代,半導體行業在三百六十行中占據的位置越來越廣闊,產業鏈也已經十分完善了。今天來自鈞杰陶瓷的小編要講的就是半導體行業中要用到的陶瓷搬運臂,眾所周知,晶圓硅晶片是十分微小的物件,并且轉移過程中必須十分小心。為了快捷安全的搬運,人們設計出了陶瓷搬運臂,在半導體工藝的整個生產過程中起到操縱和搬運硅晶片的作用。它不只是可以在真空通道中承載零件,還可以處理大尺寸的晶片。

氧化鋁陶瓷搬運臂
  陶瓷搬運臂,又稱末端執行器、陶瓷機械手等,它構成機械臂的頂部,用于在位置之間處理和移動半導體晶片。它相當于機器人的手,因此重要的是,它的熱穩定性和尺寸需要非常穩定,不會污染微粒以及化學污染物室。
  經過多年經驗的積累,科研人員找到了制造半導體陶瓷臂較為合適的材料,那便是精細陶瓷材料。用精細陶瓷材料制作的半導體陶瓷臂相比于其他的材料有非常大的優勢,因為精細陶瓷材料耐高溫、耐磨性能比其他材料高上許多倍,其硬度更加是其他材料所不能比的,用精細陶瓷材料可以增強功能、減少對晶片/玻璃面板的損壞并阻止污染擴散。
  在精細陶瓷材料制作的陶瓷搬運臂中,氧化鋁材料制作的陶瓷搬運臂性價比是其他精細陶瓷材料所不能比的。高純度的氧化鋁陶瓷,氣密性高,耐磨性強,防靜電,我們鈞杰陶瓷加工的氧化鋁陶瓷搬運臂平面度甚至可以達到0.01。
  半導體晶圓搬運臂常用于2200 ℃的高溫環境,從20 ℃ -1000 ℃到2800 ℃冰點的熱膨脹系數可達13* 10∧6,這點是許多材料達不到的要求 。但是精細陶瓷材料可以,由氧化鋁材料制作的陶瓷搬運臂具有優良的耐高溫能力。
  并且,半導體晶圓搬運臂還需要高硬度和高耐磨性,精細陶瓷制作的搬運臂的硬度不僅僅是只次于金剛石,而且其耐磨性也遠遠超過鋼和鉻鋼的耐磨性。陶瓷搬運臂比其他材料具有更好的耐磨性和硬度,氧化鋁陶瓷的耐磨性和硬度完全可以滿足陶瓷搬運臂的要求,而且比起其他精細陶瓷材料的價格,它更加實惠。

氧化鋁陶瓷
  如果需要定制氧化鋁陶瓷搬運臂,我司可以提供的陶瓷機械臂主要分為:夾持式、承重式、真空吸附式。
  當然,我司是一家專業的陶瓷精密加工廠,除了可以定制氧化鋁陶瓷搬運臂,還可以提供其他的陶瓷材料制作的陶瓷搬運臂,如氧化鋯、氮化硅、碳化硅等材料的陶瓷搬運臂。常見的陶瓷搬運臂的尺寸有:2"、4"、6"、8"、12",非標尺寸也可定制。聯系電話:13712574098(微信同號)。

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